PFA系列产品

本产品是一款专为半导体显影机及其他高纯化学液输送系统设计的关键连接部件。采用高纯度全氟烷氧基树脂（PFA）材料，通过专业热熔焊接工艺制成
采用半导体级PFA原料，严格控制金属离子析出（如Na、K、Ca、Fe等）及颗粒物含量

内壁光滑如镜，不易附着颗粒与结晶，减少流体滞留和交叉污染风险
规格参数（示例）

• 材质： 半导体级PFA

• 常用规格： 容积50mL - 2L（可根据需求定制）；接口尺寸1/4" - 1" NPT、VCR、卡箍式等。

• 工作温度： -196°C ~ +260°C（短时峰值）
  
  

典型应用场景

• 半导体显影机： 显影液分配回路、循环管路、过滤器进出口连接、设备内集成模块连接。

• 湿法刻蚀/清洗设备： 高纯化学品输送与混合单元。

• 化学机械抛光（CMP）： 浆料与清洗液管路系统。

• 光伏与LED制程： 高纯湿化学品分配系统。